真空镀膜设备
薄膜测量仪器
微纳结构高速直写光刻系统
微纳激光三维光刻系统
场发射扫描电镜(SEM)
高分辨显微共焦拉曼光谱仪
X射线光电子能谱仪(XPS)
半导体器件分析仪
手动/半自动/全自动探针台
真空相关组件/配件
耗材
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